产品介绍
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仪器用途：
CW400LMDT-8″大平台明暗场芯片检查显微镜是适用于半导体晶圆的检验、芯片封装、电路基板、材料等行业的理想仪器。可进行偏光、暗视场及明视场观察转换。暗视场功能对观察材料表面缺陷有特殊效果。配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片)，视场大而清晰。专门设计的大移动范围载物台，移动范围:8"×8"(204mm×204mm)，满足半导体行业的需求。粗微动同轴调焦机构，粗动松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值:0.7μm。三目镜筒，可进行100%透光摄影。
主要技术参数：
1、目镜筒：三目镜，转轴式，倾斜30度、360°旋转
2、目镜：大视野 WF10X/22mm
3、无穷远平场消色差明暗场专用物镜:
PL L 5X/0.12 B.D 工作距离(Work distance)：9.7 mm
PL L10X/0.25 B.D 工作距离(Work distance)：9.3 mm
PL L20X/0.40 B.D 工作距离(Work distance)：7.2 mm
PL L50X/0.70 B.D 工作距离(Work distance)：2.5 mm
PL L80X/0.80 B.D 工作距离(Work distance)：1.25 mm
转换器：内向式滚珠内定位五孔转换器
4、总放大倍数：50X-800X
5、聚焦镜：可调式阿贝聚焦镜NA1.25，孔径光阑，滤色片。
6、大工作台：三层机械移动式，尺寸:280mmX270mm,移动范围（X*Y）:204mmX204mm
7、调 焦 ：粗微动同轴调焦,升级范围25mm，微动格值:0.7μm,带锁紧和限位装置
8、落射照明系统：柯勒照明，落射照明12V50W，卤素灯亮度可调，内置式视场光阑、孔径光阑（黄、蓝、绿、磨砂玻璃）滤色片转换装置，推拉式检偏器与起偏器。
9、正交偏光装置
10、防霉 |
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