产品介绍
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仪器用途:
CW400LT-8″大平台无穷远芯片检查显微镜是适用于半导体晶圆的检验、芯片封装、电路基板、材料等行业的理想仪器。可进行偏光与明视场观察转换。配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片),视场大而清晰。专门设计的大移动范围载物台,移动范围:8"×8"(204mm×204mm),满足半导体行业的需求。粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值:0.7μm。三目镜筒,可进行100%透光摄影。
主要技术参数:
1、目镜筒:三目镜,转轴式,倾斜30度、360°旋转
2、目镜:大视野 WF10X/22mm
3、无穷远长工作距离平场消色差物镜:
PL L5X/0.12 工作距离:26.1 mm
PL L10X/0.25 工作距离:20.2 mm
PL L20X/0.40 工作距离:8.8 mm
PL L50X/0.70(弹簧) 工作距离:3.68 mm
PL L80X/0.8(弹簧) 工作距离:1.25 mm
转换器:内向式滚珠内定位五孔转换器
4、总放大倍数:50X-800X
5、聚焦镜:可调式阿贝聚焦镜NA1.25,孔径光阑,滤色片。
6、大工作台:三层机械移动式,尺寸:280mmX270mm,移动范围(X*Y):204mmX204mm
7、调 焦 :粗微动同轴调焦,升级范围25mm,微动格值:0.7μm,带锁紧和限位装置
8、落射照明系统:柯勒照明,落射照明6V30W,卤素灯亮度可调,内置式视场光阑、孔径光阑(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置,推拉式检偏器与起偏器。 |
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